Корзина
Пишите нам: sales@theseuslab.kz
+7 (771) 79-000-49

Система нанесения оптических покрытий с автоматизированной подачей пластин NANO-MASTER NOC-4000

  Система нанесения оптических покрытий с автоматизированной подачей пластин NANO-MASTER NOC-4000, фото 1
next previous
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +7 показать номер +7 (771) 79-000-49
  • Контакты
    • Телефон:
      +7 (771) 79-000-49
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Система нанесения оптических покрытий NANO-MASTER NOC-4000 обеспечивает высококачественную очистку и травление оптических заготовок в одной камере с автоматической передачей заготовок во вторую камеру для нанесения оптического покрытия без нарушения вакуума. Кроме того, камеры системы могут использоваться независимо друг от друга, при этом каждая из них оснащена функцией автоматической загрузки/разгрузки.

 

Характеристики:

  • Пластинодержатель с ВЧ смещением;
  • Система мониторинга толщины;
  • Базовое давление 5x10-7 торр;
  • Высокая точность и повторяемость;
  • Высокое качество получаемых пленок;
  • Чистые поверхности на атомном уровне;
  • Атомная очистка и полировка;
  • Интерфейс пользователя, разработанный в среде LabView;
  • Автоматическая загрузка/разгрузка;
  • Автоматическая передача заготовок между камерами;
  • Управление с помощью команд, парольная защита;
  • Защитные блокировки;
  • Размер основания 46х44 дюйма.

 

Опции

  • Распыление вверх/вниз;
  • Совместное распыление;
  • Источники питания постоянного тока, а также импульсные и ВЧ источники питания;
  • Ионно-лучевое напыление;
  • Электронно-лучевые и плазменные источники.

 

Область применения

  • Оптические покрытия: Распыление и ионно-лучевое осаждение;
  • Реактивное ионно-лучевое травление и очистка;
  • Ионно-лучевое фрезерование;
  • Инфракрасные покрытия;
  • Подготовка поверхностей.

 

Системы и подсистемы

Камера ионно-лучевого травления с водяным охлаждением и автоматически наклоняемым пластинодержателем
 
Камера распыления с подогреваемым и вращающимся пластинодержателем
 
Заготовка монтируется на наклоняемом пластинодержателе, после чего для ее обработки активируется ионный источник
 
Механизм автоматизированной передачи пластин между камерами

 

Решетчатые светоделители для интегрально-оптических волноводов, изготовленные в Photonics Research Labs. 

Фотошаблоны созданы методом голографического экспонирования с использованием зеркала Лойда и мониторингом технологического процесса в режиме реального времени. На рисунке представлено изображение поверхности решетки с шагом около 323 нм на стеклянной подложке после процесса травления, полученное с помощью растрового электронного микроскопа; После чего, для формирования одномодового электроактивного интегрального оптического волновода данная решетка покрывается многослойной структурой.

Характеристики
Основные
Производитель   NANO-MASTER
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте