Корзина
Пишите нам: sales@theseuslab.kz
+7 (771) 79-000-49

Системы влажной очистки больших подложек NANO-MASTER LSC-4000

  Системы влажной очистки больших подложек NANO-MASTER LSC-4000, фото 1
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +7 показать номер +7 (771) 79-000-49
  • Контакты
    • Телефон:
      +7 (771) 79-000-49
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Система очистки больших подложек NANO-MASTER представляет собой автономное устройство с компьютерным управлением, предназначенное для очистки больших подложек с внешним диаметром до 21 дюйма. Сенсорный экран на передней панели в сочетании с графическим интерфейсом, разработанным в LabVIEW обеспечивают расширенные возможности управления по сравнению с системами индивидуальной очистки подложек. Так, например, система оснащена функцией разграничения уровней доступа с правами для оператора, инженеров-технологов и обслуживания.

Системы для очистки больших подложек построены на базе запатентованных технологий мегазвуковой очистки и химического распыления, аналогичных системам индивидуальной очистки. Сочетание функций управления среды LabVIEW и технологической камеры большего размера обеспечивает поддержку дополнительных опций, таких как озонированная деионизированная вода, деионизированная вода под высоким давлением, работа с предварительными фотошаблонами с пеликлами и режим очистки «Пиранья». Возможна автоматическая загрузка/разгрузка отдельных кассет и подложек.

 

Характеристики:

  • Внешний диаметр 21 дюйм, подложки 15x15 дюймов и пластины до 450 мм;
  • Мегазвуковая очистка без повреждения образца;
  • Щетка из поливинилацетата с переменной скоростью вращения;
  • Дозирование химикатов с отсасывающими обратными клапанами;
  • Двойной дренаж для кислот и растворителей;
  • Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
  • Интерфейс пользователя с сенсорным экраном;
  • Ручная загрузка и выгрузка;
  • Защитные блокировки и аварийные сигналы;
  • Размер основания 32х28 дюймов.

 

Опции

  • Очистка фотошаблонов с пелликлами;
  • Двухсторонняя очистка щеткой и мегазвуковая очистка;
  • Модуль подачи химикатов;
  • Датчики уровня в сосудах с химикатами;
  • Очистка в режиме «Пиранья»;
  • Озонированная деионизированная вода (концентрация O3 20 ppm);
  • Подача деионизированной воды под высоким давлением;
  • Подогрев деионизированной воды;
  • Ионизатор азота;
  • Ввод CO2 с мониторингом удельного сопротивления деионизированной воды;
  • Материалы FM4910;
  • Роботизированная загрузка/выгрузка с контейнером для полупроводниковых пластин со стандартным механическим интерфейсом.

 

Область применения

  • Кремниевые и сапфировые пластины; 
  • Кристаллы на платине;
  • Панели экранов;
  • Экраны, покрытые оксидом индия и олова;
  • Очистка фотошаблонов с нанесенным или не нанесенным структурными элементами;
  • Заготовки фотошаблонов со слоем фоторезиста;
  • Фотошаблоны с пелликлами;
  • Контактные фотошаблоны.

 

200 мм Тантал, 1.5 PSI, 89/78 об/мин DaNano 125 мл/мин Общий дефект > 0,25, μ = 33

 

8-дюймовое зажимное устройство
 
Внутреннее исполнение камеры LSC-4000.
 
Очистка щеткой меток выравнивания на лицевой стороне фотошаблона с пелликлами.
 
LSC-4000 с распылением озона. Датчик уровня озона
Характеристики
Основные
Производитель   NANO-MASTER
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте