Корзина
Пишите нам: sales@theseuslab.kz
+7 (771) 79-000-49

Системы плазмохимического осаждения из газовой фазы NANO-MASTER NPE-4000

  Системы плазмохимического осаждения из газовой фазы NANO-MASTER NPE-4000, фото 1
next previous
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +7 показать номер +7 (771) 79-000-49
  • Контакты
    • Телефон:
      +7 (771) 79-000-49
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Системы плазмохимического осаждения из газовой фазы NANO-MASTER могут применяться для нанесения высококачественных пленок SiO2, Si3N4, CNT, DLC либо SiC. В зависимости от решаемой задачи в качестве плазменных источников могут применяться РЧ-источники душевого типа, полый катод, источники с индуктивно-связанной плазмой, а также микроволновые источники. Зажимная пластина для подложек позволяет размещать подложки с размером до 8 дюймов с возможностью РЧ-смещения, смещения импульсным постоянным током или постоянным током при резистивном либо инфракрасном нагреве до 800°С.

Благодаря применению турбомолекулярного насоса с производительностью 250 л/сек с механическим насосом с производительностью 0,1415 м3/мин, уровень вакуума в камере может достигать значения 5x10-7 торр. Компьютер с программным обеспечением, разработанным в среде LabView обеспечивает полную автоматизацию всех процессов.

 

Характеристики:

  • Кубическая камера из алюминия с размером 13 дюймов либо из нержавеющей стали с размером 14 дюймов;
  • Базовое давление 5х10-7 торр благодаря применению турбонасоса;
  • Плазменные источники: РЧ-источник душевого типа, полый катод, источник с индуктивно-связанной плазмой, а также микроволновый источник;
  • Газовое кольцо для прекурсоров и газов;
  • Держатель для подложек: диапазон температуры от 200°C to 800°C, поддержка вращения, смещение с применением РЧ-сигнала, низкочастотного РЧ-сигнала, постоянного тока, а также импульсного постоянного тока;
  • Регуляторы массового расхода с электрополированными газовыми линиями и пневматическими запорными клапанами;
  • Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
  • Интерфейс пользователя, разработанный в среде LabVIEW;
  • Средства аварийного отключения и защитные блокировки.

 

Опции

  • Источник с индуктивно-связанной плазмой для получения плазмы высокой плотности;
  • Смещение подложки импульсным постоянным током;
  • Смещение с применением сигнала низкой частоты для контроля натяжения пленки;
  • Вращающийся держатель подложек для покрытия объемных деталей;
  • Автоматическая загрузка/выгрузка;
  • Безмасляный насос;
  • Барботеры для металлоорганических соединений с подогреваемыми газовыми линиями;
  • Газосепараторы для токсичных газов токсичных с функцией мониторинга;
  • Определение окончания процесса;
  • Различные допирующие вещества (PH3, B2H6).

 

Область применения

  • Герметизация, изоляция;
  • Фотонные структуры;
  • Алмазоподобные покрытия;
  • Углеродные нанотрубки – Устройства памяти;
  • Слой поверхностной пассивации – Солнечные панели;
  • Графен – Наноэлектроника.
РЧ держатель для подложек с газораспределительной головкой душевого типа
 
Держатель для подложек с размером до 8 дюймов, нагревом до 800°C и функцией смещения
 
16-дюймовая кубическая камера из нержавеющей стали с подачей нагретого металлоорганического прекурсора
 
Напыление диоксида кремния и нитрида кремния с помощью плазмохимического осаждения из газовой фазы 
Характеристики
Основные
Производитель   NANO-MASTER
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте