Корзина
Пишите нам: sales@theseuslab.kz
+7 (771) 79-000-49

Система распыления NANO-MASTER NSC-4000

  Система распыления NANO-MASTER NSC-4000, фото 1
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +7 показать номер +7 (771) 79-000-49
  • Контакты
    • Телефон:
      +7 (771) 79-000-49
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Условия возврата и обмена

Описание

Для распыления тонких пленок металлов и диэлектриков на подложки до 200 мм в современных системах распыления NANO-MASTER применяются различные камеры и конфигурации источников. Последовательное либо совместное распыление достигается благодаря оснащению систем источниками питания постоянного тока, импульсного постоянного тока, а также РЧ-источниками. Турбомолекулярная насосная обеспечивает снижение давления до значения 5x10-7 торр. Предусмотрена возможность регулировки расстояния от магнитрона до подложки для достижения желаемой однородности и скорости распыления. Вращающийся держатель для подложек с внеосевыми магнетронами обеспечивает достижение наилучшей равномерности пленки. Для автоматического завершения процесса в системе установлен кварцевый датчик толщины. Держатель для подложек может нагреваться до 800°C и имеет функцию РЧ-смещения.

 

Характеристики:

  • Электрополированная 14-дюймовая кубическая камера, оптимизированная для распыления;
  • Базовое давление 5х10-7 торр благодаря применению турбонасоса;
  • Конфигурация с одним или несколькими магнетронами с различными размерами мишеней;
  • Последовательное/совместное распыление;
  • Регулируемое расстояние от магнетрона до подложки;
  • Размеры плоских магнетронов от 1 до 6 дюймов;
  • Затворы для источника и подложки;
  • Регуляторы массового расхода с электрополированными газовыми линиями;
  • 4-дюймовое смотровое окно с ручным затвором;
  • Кварцевый измеритель толщины;
  • Вращение подложки;
  • Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
  • Интерфейс пользователя, разработанный в среде LabVIEW;
  • Средства аварийного отключения и защитные блокировки.

 

Опции:

  • Нагрев подложки до 800°C либо охлаждение;
  • Осаждение при угле скольжения (GLAD) с вращением;
  • Различные размеры камеры;
  • Импульсные источники постоянного тока для таких материалов, как ITO/ZnO;
  • Наклонные магнетроны;
  • Подложки с РЧ смещением;
  • Ионный источник для очистки подложки;
  • Ионный источник для ионного распыления;
  • Дополнительный источник питания постоянного тока и РЧ-источник для совместного напыления;
  • Тепловой и электронно-лучевой источники;
  • Дополнительные контроллеры массового расхода для реактивного распыления;
  • Автоматическая загрузка/выгрузка;
  • Различные варианты насосов, включая крио-насосные станции.

 

Область применения

  • Оптические покрытия и покрытия из плёнки оксидов индия и олова;
  • Твердые покрытия;
  • Защитные покрытия;
  • Шаблоны для микроэлектроники;
  • Прозрачные проводящие оксиды для устройств с органическими светодиодами.

 

Результаты тестирования однородности покрытия, полученного с применением систем распыления NANO-MASTER:

Измерение толщины на подложке размером 6 дюймов (источник информации: отзыв клиента).
Общая толщина Ti, Pt, и Au = 2800 Å 
Pt = 300 Å 
Ti= 300 Å

Для определения отклонения толщина измерялась в 8 точках расколотого сечения:

  • № 1:2850 Å 
  • № 2: 2850 Å 
  • № 3:2825 Å 
  • № 4:2825 Å 
  • № 5:2810 Å 
  • № 6:2800 Å 
  • № 7:2800 Å 
  • № 8:2800 Å

Средняя толщина: 2820 A 

Отклонение толщины: < 1 %

Однородность данных для 6-дюймовой пластины (Металлы) с 2-дюймовым магнетроном составляет < 1 %.

Держатель для подложек
 
Камера
 
Система
Характеристики
Основные
Производитель   NANO-MASTER
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте