Корзина
Пишите нам: sales@theseuslab.kz
+7 (771) 79-000-49

Системы реактивного ионного травления NANO-MASTER NRE-4000

  Системы реактивного ионного травления NANO-MASTER NRE-4000, фото 1
next previous
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +7 показать номер +7 (771) 79-000-49
  • Контакты
    • Телефон:
      +7 (771) 79-000-49
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

NRE-4000 NANO-MASTER представляет собой автономную систему реактивного ионного травления (RIE) с газораспределительной головкой душевого типа и водяным охлаждением РЧ пластинодержателя. Система имеет корпус из нержавеющей стали и 13-дюймовую цилиндрическую алюминиевую камеру с верхней загрузкой подложек. Максимальный размер обрабатываемых подложек составляет 8 дюймов (200 мм). Камера оснащена двумя портами, один с 2-дюймовым окном, другой с заглушкой для диагностического оборудования, такого как датчики обнаружения окончания процесса. Камера обладает сверхчистой конструкцией и позволяет достигать базового давления до 5x10-7 торр или ниже в зависимости используемой от насосной упаковки. Возможна работа в диапазоне давлений от 20 мТорр до 8 Торр.

Стандартная насосная установка оснащена устойчивым к коррозии турбомолекулярным насосом с производительностью 250 л/сек, сетчатым фильтром и подкачивающим насосом из PFPE с производительностью 0,283 м3/мин. Подача РЧ-сигнала частотой 13,5 МГц обеспечивается блоком питания мощностью 600 Вт и авто-тюнером. Напряжение смещения постоянного тока на подложке находится под постоянным контролем и может достигать -500 В, что особенно важно при анизотропном травлении. Автоматизированное компьютерное управление в соответствии с заданной программой обеспечивает максимальную гибкость для пользователя при сохранении высокой воспроизводимости процесса. Система позволяет выполнять автоматическую загрузку/разгрузку как отдельных пластин, так и кассет с набором заготовок. 


Характеристики:

  • 13-дюймовая алюминиевая камера с твердым анодированным покрытием;
  • Газораспределительная головка душевого типа;
  • Размер подложек до 200 мм;
  • Контроллеры массового расхода с газовыми линиями из нержавеющей стали;
  • Смещение постоянного тока: собственное смещение до – 500 В, внешнее смещение до -1000 В;
  • Автоматическое управление давлением;
  • РЧ источник питания мощностью 600 Вт и автоматической настройкой;
  • Пластинодержатель с водяным охлаждением либо подогревом (400°C);
  • Устойчивый к коррозии турбомолекулярный насос с производительностью 250 л/сек и подходящим подкачивающим насосом;
  • Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
  • Интерфейс пользователя, разработанный в среде LabVIEW;
  • Все необходимые защитные блокировки.

 

Опции:

  • Источник с индуктивно-связанной плазмой для получения плазмы высокой плотности;
  • Плазменный источник для изотропного травления;
  • Теплообменник для охлаждения обратной стороны с механическим зажимом для глубокого реактивного ионного травления;
  • Дополнительные контроллеры массового расхода;
  • Автоматическая загрузка/выгрузка;
  • Охлаждение подложки до -20°C и нагрев до 200°C;
  • Спектроскопический детектор окончания рабочего процесса;
  • Электростатическое зажимное устройство;
  • 12-дюймовая камера для подложек.

 

Область применения

  • Сложные полупроводники;
  • Датчики на основе арсенид галлия;
  • Фотоника;
  • Изготовление микроэлектромеханических систем;
  • Травление глубоких канавок в кремнии;
  • Плазменное разделение пластин на кристаллы при упаковке;
  • Травление переходных отверстий в кремнии;
  • Высокоточные датчики движения;
  • Травление в наномасштабе и микрогидродинамика.
Пластинодержатели
 
 

Реактивное ионное травление кремния

Характеристики
Основные
Производитель   NANO-MASTER
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте