Корзина
Пишите нам: sales@theseuslab.kz
+7 (771) 79-000-49

Системы электронно-лучевого напыления NANO-MASTER NEE-4000

  Системы электронно-лучевого напыления NANO-MASTER NEE-4000, фото 1
Под заказ

Цену уточняйте

Написать
  • +7 показать номер +7 (771) 79-000-49
  • Контакты
    • Телефон:
      +7 (771) 79-000-49
    • Адрес:
      Вацлавске намести 808/66, Нове Место, 110 00 Прага 1, Прага, Чехия
  • Условия возврата и обмена

Описание:

Система электронно-лучевого напыления доступна в двух различных конфигурациях. Компактная вертикальная двухкамерная конфигурация состоит из основной кубической камеры размером 14 дюймов, в которой располагается держатель для пластин, под основной камерой предусмотрена вторая камера с источником электронного луча. Данная конфигурация может быть оснащена затвором между двумя камерами, который применяется в качестве загрузочного шлюза для сохранения вакуума на источнике электронного луча и испарительных карманах во время загрузки и выгрузки подложек из основной камеры.

В задачах, где требуется применять автоматическую загрузку и выгрузку пластин, третий загрузочный шлюз крепится с левой стороны куба к другому загрузочному шлюзу. В этом случае давление в основной камере может быть понижено до уровня 10-7 торр, что позволяет начинать напыление через несколько минут после загрузки пластины. Вторая конфигурация включает одну большого камеру, которая позволяет устанавливать электронно-лучевые пушки, магнетроны и устройства термического напыления непосредственно на базовую плиту. В данной конфигурации возможно выполнять напыление на несколько подложек с применением планетарного подложкодержателя.

NANO-MASTER также предлагает комбинированную систему напыления с использованием маскирования подложки и контролируемых компьютером скоростей напыления отдельных электронно-лучевых источников.

 

Характеристики

  • Электрополированная кубическая камера из нержавеющей стали марки 304L размером 14 дюймов либо 21 x 21 x 22 дюйма;
  • Базовое давление, получаемое с применением турбомолекулярной насосной установки, составляет 5х10-7 торр;
  • Электронная пушка 4x 15cc;
  • Затворы для источника и подложки;
  • Импульсный источник питания на 6 кВт и 10 кВт;
  • Размеры основания корпуса 26 x 44 дюйма с панелями из нержавеющей стали для чистых помещений класса 100;
  • Кварцевый датчик толщины;
  • Интерфейс пользователя, разработанный в LabView;
  • Средства аварийного отключения и защитные блокировки.

 

Опции

  • Нагрев подложки до 800°C либо охлаждение;
  • Осаждение при угле скольжения (GLAD) с вращением;
  • Планетарный держатель подложки;
  • РЧ/DC смещение для подложки;
  • Двойной электронно-лучевой источник для совместного напыления;
  • Ионный источник для очистки подложки и ионного напыления;
  • Дополнительные источники осаждения из газовой фазы (тепловой, распыление);
  • Регуляторы массового расхода для реактивного напыления;
  • Автоматическая загрузка/выгрузка;

 

Область применения

  • Обратная литография;
  • Оптические покрытия;
  • Тонкопленочные транзисторы;
  • Нанесение активного слоя из диселенид галлия-индия-меди (CIGS);
  • Джозефсоновские контакты.
 
 
 
Характеристики
Основные
Производитель   NANO-MASTER
Страна производитель США
Информация для заказа
  • Цена: Цену уточняйте